中頻感應(yīng)加熱設(shè)備材料有高純石墨、純鎢、金屬陶瓷、鎢鈰合金等。陰極需定期進(jìn)有更換，在選擇陰極材料時(shí)，要考慮成本。輔助陽極。噴嘴是等離子的外套，作為輔助陽極，起引燃等離子弧的作用。噴嘴用紫銅管焊接而成，中間通水冷卻。噴口和陰極的尺寸選配要適當(dāng)，其間隙大小由等離子槍的功率決定。最大功率為100一150kw的等離子槍，工作電流在1000-1200A時(shí)，其間隙為2mm左右。要求噴嘴口和陰極嚴(yán)格的同心，并要求陰極和輔助陽極具備一定的絕緣性能。

       氣體分流環(huán)。為了保證工作氣體從噴嘴口均勻地噴出，在噴嘴套管和陰極套管之間安裝有均勻小孔的圓環(huán)，以便控制工作氣流的均勻性。氣體分流環(huán)用絕緣材料制造。
供產(chǎn)生等離子體的氣體主要是氮和氬氣。盡管氫氣電離后釋放較多的能量，并能保持還原氣氛，有利于元素的回收，但氫在高溫下容易產(chǎn)生爆炸，通常的等離子爐不采用氫做工作氣體。氮?dú)馐请p原子氣體，具有較高的電離電位，在電離過程中需較多的能量。等離子體的溫度也比氫低。此外，氮和許多元素能形成氮化物而使鋼的性能降低。使用氮?dú)獾膬?yōu)點(diǎn)是來源豐富，價(jià)格便宜。氬氣是單原子氣體，可直接電離，在電離時(shí)，需要的能量較少。氬氣是惰性氣體，對(duì)鋼液具有很好的保護(hù)作用。從空氣中分離氬氣的技術(shù)很成熟，因此，氬氣是當(dāng)前等離子感應(yīng)爐使用的最合適的工作氣體。從空氣分離裝置中提取的粗氬含量為95％一98％，不能直接用作等離子槍的工作氣體。市售的普通氬氣中氬含量99％左右，經(jīng)過凈化處理后氬含量可達(dá)99·99％，可作等離子槍的工作氣體。其凈化作用是去除氧、氫和水分子。其凈化過程是將氬氣先通過裝有催化劑的爐管（溫度500℃）脫氧去氫，再通過硅酸層，分子啼、五氧化二磷層吸收水分。